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 質流量控制器 |
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| 提供流量控制全效應用 |
BROOKS INSTRUMENT - Advance Flow Solutions Guide
BROOKS MFC(Mass Flow Controller) 質流量控制器提供了精密的流量控制.所以在各種需要精密流量控制的產業均可見其應用.目前 BROOKS MFCs 應用範圍遍及 半導體 / 光電 / 太陽能 等領域.BROOKS 同時也是MFC 的世界領導品牌.
鑑於對精密控制愈見要求的 300mm 產品,BROOKS MFCs 也在規格上不斷的提昇.現行提供最新的 GF125 於高階的製程上,GF125 除了RoHS 驗證通過外,同時在精度,反應時間等規格上提供了最好的選擇.BROOKS/旭福 希望能在最新更好的技術領域上,持續提供服務.
BROOKS Instrument 提供領先業界的 MFC |
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